دستگاه های مورد نیاز در نانو تکنولوژی
ضخامتسنج (50 نانومتر تا 20 ميكرومتر)
• ضخامتسنج (بازتابسنج)
• بيضينگار ليزري (Ellipsometer)
• بيضينگارهاي طيفسنج
• كاربرد:
– اندازه گيري دقيق ضخامت لايه (با دقت يک نانومتر)
– اندازه گيري ضخامت، ضريب انعکاس و ضريب شکست
دستگاه توليد لايههاي نازك
•تجهيزات لايه نشاني فيزيكي فاز بخارPVD
. تجهيزات لايهبرداري (Etching)
• تجهيزات لايه نشاني شيميايي فاز بخار CVD
نشاندن لايههاي نازك
تجهيزات MOCVD (لايهنشاني به روش بخار شيميايي مواد آلي فلز) و
LPE (رشد اپیتكسیال در فاز مايع )
نشاندن لايههاي كريستالي با صحت در حد اتمي بر روي:
– نيمههاديهاي مركب: فروالكتريكها، ديالكتريكها و ...
– نيمههاديهاي سيليكوني: سيليكونكاربيد و ...
– نيمههاديهاي آلي: LED آلي (OLED)
دستگاههاي آناليز سطح
• دستگاههاي آناليز سطح:
– طيفنگاري الكتروني (XPS, ESCA, …)
– آناليز ساختار سطح (SEM/SAM و LEED)
– پروفايل عمقي (Depth Profiling)
– و ...
• سيستمهاي MBE (روش لايهنشاني براي تهيه لايههاي نازك تككريستال)
تولید نانو ذرات
• دستگاههای برش (Cutting)
• دستگاههای خرد كردن (Grinding)
• دستگاههای اره كردن (Sawing)
• همسنگساز/ آسياب سهغلطكي (تا حد نانو)
• تجهيزات مورد نياز براي پركردن تيوپ داروها
• سيستمهاي تست مواد (براي تست خمش و شكست
سراميكها، كامپوزيتهاي سراميكي و ديگر مواد شكننده)